重结晶碳化硅 性能指标
Technical Data Sheet of R-SiC
| Item |
Unit |
Data |
| Bulk density 体积密度 |
g/cm3 |
2.72-2.75 |
| Porosity气孔率 |
% |
15-17 |
| Compression strength 耐压强度 |
Mpa |
500-700 |
| Bending strength（4points） 抗折强度
|
MPa(at 20 ℃) MPa(at 1200 ℃) |
90 120 |
| Young’s modulus 杨氏模量
|
GPa(at 20 ℃) |
250 |
| Thermal conductivity 导热系数 1200℃
|
W/MK |
23 |
| Thermal expansion 热膨胀系数
|
10-6xK-1 |
4.7 |
| Max Working Temperature 安全工作温度（氧化气氛）
|
℃ |
1650 （under oxgen atmosphere） |
| SiC碳化硅 |
% |
＞99.5 |
氮碳结合 性能指标
Technical Data Sheet of N-SiC
| Item项目 |
Unit 单位 |
Data 数值 |
| Bulk density 体积密度 |
g/cm3 |
2.72-2.85 |
| Apperant Porosity 显气孔率 |
% |
＜2 |
| Compression strength 耐压强度 |
Mpa |
500-700 |
| Bending strength 抗折强度 |
Mpa |
120-150 |
| Young’s modulus 杨氏模量 |
Gpa |
200-250 |
| Thermal conductivity 导热系数 1200℃ |
W/MK |
15 |
| Thermal expansion 热膨胀系数 |
10-6xK-1 |
5.0 |
| Max work temperature 安全使用温度 |
℃ |
1450 |
| Si3N4 氮化硅 |
% |
20-30 |
| SiC 碳化硅 |
% |
70-80 |